界最顶级的抛光技术了!
这个光刻机中最关键的技术之一,在他们手上正式得到了突破!
林晓笑着道:“干的好!罗院士,咱们再多打磨几块出来,让外国人开开眼!”
“当然!”
罗刚宪回应一声,而后两人也不再多说,挂了电话。
林晓的心情也随之变好了起来。
光学镜片搞定,剩下的就是光源以及双工作台这两个问题了。
双工作台主要还是精度上的问题,他们当前的精密技术并不能保证其始终稳定,不过随着编码器的更新,双工作台也迟早能够实现突破。
至于光源的问题,因为林晓脑海中有着来自阿斯麦尔EUV光刻机的成熟方案,所以对他来说这就更不是问题了,他所需要做的就是,对这个方案进行一下优化,避免在专利上产生冲突,这也是为什么他之前都没有直接照搬脑海中的那些资料,都是因为专利问题,他能通过申请专利避免国外侵犯权益,国外的专利,他们自然也得遵守。
所以经过他的优化后,就能通过规避掉对方的专利保护技术特征,实现绕过专利的作用,甚至从性能上还会比对方的技术更好一些。
“这样一来,似乎距离开始组装光刻机也要不了多久了?”
林晓的心中不由这么一想。
旁边的郑蓉儿见到他思考的样子,不由问道:“林晓哥,你在想什么啊?”
林晓回过神,笑道:“没想什么,走吧。”
而后,他便带着郑蓉儿高高兴兴地离开了学院。
……
川省,蓉城,光电所中。
罗刚宪挂了给林晓传达好消息的电话,随后便笑眯眯地又回到了他们的抛光室。
“第三块怎么样?”
“已经处理了47%,还需要一天的时间。”
“嗯。”罗刚宪点点头。
一块镜片的离子抛光过程,至少需要四十多个小时,将近两天的时间。
当然,这个时间算是十分正常的时间,因为离子抛光是要对上面的每一刻粒子进行处理,所以速度缓慢,也很正常,这也是为什么它会成为世界上最贵的镜片。
小小一块,就高达一百多万人民币,而整个光刻机需要这样十几块镜片组合,那就相当于将近两千万人民币。
阿斯麦尔为什么每年生产的光刻机十分有限,很大程度上也和镜片产量有限,毕竟,以前可是只有蔡司公司能够生产这样高精密的镜片。
但是现在,他们华国却也能够生产了!
而且最关键的是,他们不需要那种经验老道的抛光大师。
在林晓的帮助下,他们现在直接用一个数学模型就替代了这些大师的经验。
也就是说,只要他们能够搭建起来足够的流水线,将能够轻松地生产出足够多的镜片出来。
届时,蔡司公司都将会因为产能落后于他们,而直接丧失竞争力,到时候他们华国,将有
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