是利用衍射效应。
X光是能通过晶体进行衍射的,并且一般来说,晶体结构基本上是利用X光衍射来测定的。
但是反过来说,如果选取合适的晶体材料作为透镜,然后利用衍射效应实现对X光的缩放,进而就能实现像EUV光刻机那样的生产效率,在加上X光那强大的能量,实现更加快速的生产效率,十分的轻松。
当然,其中就有一个困难的问题了,那就是这个合适的晶体是什么,此外,利用衍射效应实现对X光的控制,其中需要处理的数据十分庞大。
所以到现在虽然也有利用这种衍射效应去实现芯片制造的,但是基本上都仅限于一些特殊的图形,应用案例十分之少。
对于林晓来说,他也仅仅只是这么想一想。
虽然现在的他还有一点把握,但是要是他给外界的人说自己要搞X光刻机的话,恐怕他们华芯盟第二天就得退出个一大半。
不再多想,他重新将目光投入到眼前的数学模型中。
如今升级了的他,再次回顾起这个模型,心中忽然觉得,这个模型似乎还有些欠缺啊?
“唔……这个模型似乎还可以再优化一下。”
经过片刻的思考,他找到了可以优化的点。
“嗯,离子抛光机校准系统,还有一点可以优化。”
离子抛光机的校准系统受到本身精度的影响,当然,考虑到内部磁场的影响,离子束的轨道是会受到磁场干扰的,就像是粒子加速器也会受到磁场的各种干扰。
所以如果在校准系统中对磁场干扰误差进行更加精确的修正,或者说是利用磁场误差和离子抛光机自身精度误差的差值,同样也能实现更加精准的抛光。
想到这,林晓立马开始动手计算,而这一步,其实很容易,那就是根查法。
离子束抛光机,喷射等离子体,磁场误差影响……这些东西加起来,可不就能够用根查法来解决吗?
当然,由于结构有些不同,还有功能上的不同,所以也需要对根查法做一个简单的修改。
而这一步,并不困难。
大概半个小时后,他便完成了对这个模型的优化。
搞定这个问题,林晓嘴角一翘。
“我真厉害。”
摸了摸自己的脸,林晓又伸手揉了揉旁边正睡着觉的咪咪,笑着问道:“咪咪,你说对不对?”
“喵~”
咪咪蜷缩的身子动也没动,只是叫了一声,大概是作为回应了。
林晓笑了笑,再次撸了一把,随后便联系了罗刚宪,将这个消息告知了他。
自然是感到十分的惊喜,没想到林晓居然这么快就搞定了这个问题。
得到了林晓的这个数学模型后,他就更加感到无比的惊叹,这个数学模型中,充满了各种各样的变量,但偏偏一眼看去后,又让人感到了一种数学美的存在。
很快,罗刚宪将这个数学模
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